Le fabricant de produits chimiques japonais JSR, qui représente environ un cinquième du marché mondial des photorésists, prévoit de construire sa première usine de production à Taiwan et de travailler avec TSMC pour développer des photorésists avancés.La société a formé une coentreprise avec une entreprise taïwanaise début avril et prévoit de démarrer la production dès 2028, avec un investissement de plusieurs dizaines de millions de dollars.
Cette usine permettrait à JSR de combler son écart avec ses deux principaux concurrents japonais sur le marché taïwanais.Tokyo Ohka Kogyo Co. (TOK) et Shin-Etsu Chemical Co. exploitent déjà des installations de production à Taiwan et travaillent directement avec TSMC sur le développement de photorésists.
La photorésiste est un matériau sensible à la lumière utilisé en lithographie pour transférer des motifs de circuits sur des tranches de silicium.Aux nœuds de processus avancés, les photorésists doivent être réglés avec précision pour fonctionner avec des équipements de lithographie et des produits chimiques de gravure spécifiques.Ce réglage nécessite une communication répétée entre les fournisseurs de résine photosensible et les fonderies.
JSR développe actuellement des produits pour les clients taïwanais en expédiant des échantillons depuis ses installations au Japon, aux États-Unis et en Belgique, chaque aller-retour pouvant prendre plusieurs semaines.Cela ralentit le processus d’itération, tandis que ses concurrents peuvent s’éloigner plus rapidement des bases de production locales.Construire une usine à Taiwan permettrait aux ingénieurs de JSR de travailler plus étroitement avec les équipes de recherche et développement de TSMC, un modèle déjà utilisé par TOK et Shin-Etsu Chemical.En plus des photorésists, JSR envisage également de produire d'autres matériaux dans son usine de Taiwan, notamment des abrasifs utilisés pour lisser les substrats semi-conducteurs.
L’expansion de JSR à Taiwan s’inscrit dans un plan de croissance plus large.L’entreprise construit également la première installation de production de masse au monde de réserves d’oxydes métalliques, ou MOR, en Corée du Sud.L'usine devrait commencer la production de masse en 2026 et fournira du MOR à base d'étain pour la lithographie EUV à Samsung Electronics et SK Hynix.
Comparé aux résistances classiques amplifiées chimiquement utilisées dans les nœuds de processus plus anciens, le MOR peut absorber les photons EUV plus efficacement, permettant une résolution plus élevée et moins de défauts de motif.JSR a acquis Inpria, pionnier de la technologie MOR, en 2021 et développe depuis des formulations à base d'oxyde d'étain.La société prévoit également de vendre MOR à TSMC, se positionnant ainsi pour les lignes de production EUV et EUV High-NA de nouvelle génération nécessaires aux nœuds de processus 2 nm et plus avancés de TSMC.
Les entreprises japonaises représentent ensemble environ 80 % du marché mondial des résines photosensibles et dominent presque entièrement le segment EUV haut de gamme.Les entreprises chinoises ont progressé dans les photorésists KrF et i-line, mais leur pénétration du marché dans les catégories ArF et plus avancées reste très faible.
"Les entreprises chinoises constituent une menace, mais il leur faudra un certain temps pour nous rattraper et prendre des parts de marché", a déclaré Toru Kimura, cadre supérieur en charge de l'activité matériaux électroniques de JSR.La stratégie de JSR semble viser à maintenir son avance en établissant des relations de co-développement dans les domaines les plus techniquement exigeants du marché.