En ce qui concerne la société néerlandaise ASML, tout le monde sait qu'ils sont le seul fournisseur de machines de lithographie EUV au monde, et la production de processus de 7 nm et inférieurs dépend de leur équipement. Cependant, ASML n'est pas seulement une machine de lithographie puissante. Aujourd'hui, ils ont annoncé un autre nouveau produit: la machine d'inspection multifaisceaux HMI de première génération, HMI eScan1000, qui convient aux processus 5 nm et plus avancés, augmentant ainsi la capacité de 600%.
Avec l'amélioration continue de la technologie des processus, la fabrication de plaquettes devient de plus en plus complexe, ce qui entraînera également plus d'erreurs dans la plaquette. HMI eScan1000 est un système de détection basé sur la technologie multifaisceaux HMI, et il y a également des sous-systèmes photoélectriques complexes à l'intérieur. Il peut générer et contrôler plusieurs faisceaux d'électrons, puis analyser la qualité des plaquettes sur la base de l'imagerie par faisceau d'électrons réfléchis, et dispose d'une plate-forme à grande vitesse pour contrôler le nombre de plaquettes testées, et d'un système informatique pour traiter les données des faisceaux d'électrons.
Autrement dit, la machine HMI eScan1000 développée par ASML est un système pour vérifier la qualité des plaquettes produites par des processus avancés. Plus le processus est avancé, plus le système d'inspection est important. Sa précision d'inspection et son débit déterminent l'efficacité de la production.
La percée du HMI eScan1000 d'ASML est qu'il peut générer et contrôler simultanément neuf faisceaux d'électrons, de sorte que la capacité de production a été augmentée de 600%, ce qui peut réduire considérablement le temps utilisé pour l'analyse de la qualité des tranches.
À l'heure actuelle, HMI eScan1000 peut être utilisé pour tester des plaquettes de processus avancés de 5 nm et moins. Il a été livré aux clients pour test et vérification. À l'avenir, ASML lancera également davantage d'équipements de test de faisceaux pour répondre aux exigences des clients en matière de processus avancés.